高純/特種氣體的概念及供氣系統(tǒng)及進(jìn)口便攜式露點(diǎn)儀品牌的選擇

近20年來，隨著更復(fù)雜、更密集的大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)，對高純氣體潔凈度的要求，已不亞于對純度和干燥度的要求，凡工藝氣體，無一不對其中的粒子提出限制。因此，對于高純氣體，純度、干燥度、潔凈度是三項(xiàng)重要的標(biāo)度。由于高純度氣體的使用地點(diǎn)、性質(zhì)、工況（如溫度、壓力等）都不*一致，所以，如何確定高純氣體的“三度”（純度、干燥度、潔凈度），還沒有一個(gè)嚴(yán)格而明確的概念。   高純/特種氣體的概念及供氣系統(tǒng)及進(jìn)口便攜式露點(diǎn)儀品牌的選擇 主要產(chǎn)品：SADP露點(diǎn)儀|在線露點(diǎn)儀| 肖氏露點(diǎn)傳感器|肖氏露點(diǎn)儀|頂空分析儀|藥品殘氧儀|壓縮空氣露點(diǎn)儀|Mocon透氧儀|膜康透濕儀|PBI頂空分析儀|露點(diǎn)儀品牌|露點(diǎn)儀價(jià)格|露點(diǎn)儀批發(fā)|Hitech氧氣分析儀|Hitech熱導(dǎo)氣體分析儀|Hitech氫氣分析儀|露點(diǎn)儀廠家 

對于純度和干燥度的控制，我國CBJ73—84《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》中指出，“高純氣體系指純度大于或等于99.9995%，含水量小于5ppm氣體。”日本把微電子生產(chǎn)中所采用的氣體，按其不同的品位，具體分為下列幾個(gè)不同的檔次： 

1.超高純氣體    氣體中雜質(zhì)總含量控制在1ppm以下，水份含量控制在0.2~1ppm。
2.高純氣體       氣體中雜質(zhì)總含量控制在5ppm以下，水份含量控制在3 ppm以內(nèi)。
3.潔凈氣體      氣體中雜質(zhì)總含量控制在10 ppm以下,對水份含量未作嚴(yán)格規(guī)定。 高純/特種氣體的概念及供氣系統(tǒng)及進(jìn)口便攜式露點(diǎn)儀品牌的選擇 

  上述規(guī)定，都未涉及潔凈度。我們知道集成電路的生產(chǎn)，幾乎都是在潔凈環(huán)境中進(jìn)行，是防止塵埃粒子污染微電子產(chǎn)品所必需的。所以，對潔凈的生產(chǎn)環(huán)境絕不允許采用不潔凈的氣體來破壞，必須使氣體的潔凈度與潔凈環(huán)境保持一致，根據(jù)相關(guān)資料以及近些年公司相關(guān)工程的經(jīng)驗(yàn)進(jìn)行了一些歸納。

英國SHAW在線露點(diǎn)儀Superdew3 

1． 量程可選如下：` 

 SUPER-DEW3 -R    紅點(diǎn)（R）：   -80～-20℃ 

 SUPER-DEW3 -P    紫點(diǎn)（P）：   -100～0℃ 

 SUPER-DEW3 -G   灰點(diǎn)（G）：   -80～0℃ 

 SUPER-DEW3 -Y   黃點(diǎn)（Y）：   -60～0℃高純/特種氣體的概念及供氣系統(tǒng)及進(jìn)口便攜式露點(diǎn)儀品牌的選擇 

 SUPER-DEW3 -RS    銀點(diǎn)（S）：   -100～-20℃ 

2、英國SHAW在線露點(diǎn)儀Superdew3特性：  

★ 在線測定各種氣體的露點(diǎn)溫度 

★ 干燥氣體時(shí)的保證精度為1PPM 

★ 室內(nèi)空氣中一分鐘自動校準(zhǔn) 

★ 大型背光式液晶數(shù)字顯示 

★ 標(biāo)準(zhǔn)的4～20MA或0～1號輸出 

技術(shù)參數(shù) 

二次表：（SuperDew） 

★ 顯示精度：1% 

★ 安裝類型：面板安裝, 開口尺寸：135mmx66mmx175mm（深） 

★ 顯示：3 1/2位帶背光的數(shù)字顯示 

★ 供電：220V AC @50Hz 

★ 輸出：4-20mA標(biāo)準(zhǔn)信號輸出, 兩路繼電器高低報(bào)警輸出240V @3A 

★ 校準(zhǔn)：在空氣中自動校準(zhǔn) 

★ 可任意調(diào)節(jié)的高低報(bào)警輸出 

★ 傳感器到儀表之間的距離可達(dá)1千米 

★ ISO 9002質(zhì)量控制高純/特種氣體的概念及供氣系統(tǒng)及進(jìn)口便攜式露點(diǎn)儀品牌的選擇 

★ 可選量程:-100℃～0℃/-80℃～0℃ 

3．測量精度：+/-3℃ 

4．樣氣壓力：1～30psi,本傳感器可耐壓到200Bar 

5．樣氣流量：1～5升/分鐘，建議1升/分鐘 

6．氣路連接：1/4”或 1/8”卡套接頭 

7．防    爆：傳感器本安防爆，增加隔離柵選件可組成防爆檢測系統(tǒng) 

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